Ausstattung

  • Konfokal-Chromatisches Messsystem
  • Mirau-Interferometer
  • Auflicht-Mikroskop
  • Werkstatt-Messmikroskop (hoher Arbeitsabstand, hohe Messgenauigkeit)
  • Inverses Mikroskop
  • Atomkraft-Mikroskop
  • Parameteranalyser
  • U-Kugeln
  • Lockin-Verstärker
  • Cadence Entwicklungsumgebung
  • Piezo-Objektivscanner