In der Arbeitsgruppe sind mehrere kommerzielle Softwaretools zur Simulation mikroelektronischer Bauelemente vorhanden. Als Rechenplattform dient ein Linux-High-Performance-Cluster. Softwarepakete wie Matlab dienen der Entwicklung und Vereinfachung der physikalischen Modellgleichungen. Das Labor der Arbeitsgruppe befindet sich im Raum A21.1.02. Ein Waferprober-Messplatz mit Parameteranalyzer erlaubt die Kontaktierung und messtechnische Charakterisierung integrierter Bauelemente unter dem Mikroskop. Ergänzend finden sich im Labor diverse Geräte zur Beschichtung und zum Drucken von Materialien der „gedruckten Elektronik“.
QuantumATK Atomistic Simulation Solution (Synopsys)
Die Software QuantumATK ermöglicht auf atomarer Ebene eine Simulation physikalischer und chemischer Eigenschaften von Materialübergängen (z. B. Schottky- oder PN-Übergängen), Nanostrukturen, elektronischen Bauteilen, etc. QuantumATK bietet eine Plattform zur Entwicklung fortschrittlicher Halbleitertechnologien und zur Simulation von Eigenschaften neuer Materialien. So lassen sich die elektronischen und strukturellen Eigenschaften neuer Materialien sowie deren Einfluss auf die Leistungsfähigkeit neuartiger Bauteile simulieren, bevor experimentelle Daten zur Verfügung stehen.
TCAD-Sentaurus (Synopsys)
Kommerzielles Tool zur dreidimensionalen FEM-Simulation mikroelektronischer Bauelemente. Es erlaubt die Simulation des Herstellungsverfahrens (Prozess-Simulation) und des elektrischen Verhaltens (Device-Simulation). Das Tool liefert häufig die Grundlage zur Interpretation physikalischer Effekte im Bauelement. In den Lehrveranstaltungen „Nanoelektronik“ (ELI-Bachelorstudiengang) und „Bauelementsimulation“ (EIT-Masterstudiengang) erhalten Studierende einen Einblick in die Verwendung der Software.
Cadence Design Framework
Kommerzielles Tool zum Design und zur Simulation komplexer integrierter Schaltkreise. Über die Verilog-A-Schnittstelle lassen sich die in der AG entwickelten Kompaktmodelle einbinden.
IC-CAP (Keysight)
Kommerzielles Tool zur Extraktion von Modellparametern aus Messungen oder Simulationen. Hiermit können Verilog-A-Kompaktmodelle an Messdaten von Kooperationspartnern oder FEM-Simulationen angepasst werden.
Waferprober Cascade RF-1 mit Parameter-Analyzer Keysight B1500
Messplatz (DC und AC) zur Spitzenkontaktierung von Substraten unter dem Mikroskop (bis 6 Zoll). Damit ist die Charakterisierung einzelner integrierter Bauelemente, ohne ihre Kontaktierung in einem Gehäuse, möglich.
High-Performance-Linux-Cluster
Die dreidimensionale Simulation des elektrischen Verhaltens einzelner Bauelemente dauert häufig Stunden oder sogar mehrere Tage. Hierzu steht ein Rechencluster mit insgesamt 128 Cores zur Verfügung.
DIMATIX Material Printer DMP-2831
Drucker zur Herstellung von organischen Transistoren. Ein DIMATIX-Material-Printer erlaubt das Drucken funktionaler Tinten nach dem Inkjet-Prinzip bis ca. 30 µm Auflösung. Silbergefüllte Tinten oder leitfähige Polymere wie PEDOT:PSS ermöglichen das Drucken von Leitbahnen und Elektroden, Tinten organischer Halbleiter die Herstellung aktiver Bauelemente.
SUSS MicroTec Spin Coater LapSpin6 TT
Der Spin Coater ermöglicht das Aufschleudern dünner und gleichmäßiger Schichten auf verschiedene Substrate. Verwendung findet es insbesondere bei der Herstellung dünner Dielektrika in OFETs, damit niedrige Betriebsspannungen erzielt werden können.
Reflektometer NanoCalc-XR
Messgerät zur Bestimmung der Dicken von Multi-Layer-Schichten (Messbereich: 10 nm – 100 µm). Hiermit lassen sich durch Spin-Coating oder Drucken aufgetragene Schichten vermessen.
Access to Mentor Graphics Design Framework, Matlab, LabView
Software für mathematische Berechnungen und Unersuchung von mathemathischen/physikalischen Ergebnissen
