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In der Arbeitsgruppe sind mehrere kommerzielle Softwaretools zur Simulation mikroelektronischer Bauelemente vorhanden. Als Rechenplattform dient ein Linux-High-Performance-Cluster. Softwarepakete wie Matlab dienen der Entwicklung und Vereinfachung der physikalischen Modellgleichungen. Ein Waferprober-Messplatz mit Parameteranalyzer erlaubt die Kontaktierung und messtechnische Charakterisierung integrierter Bauelemente unter dem Mikroskop.

TCAD-Sentaurus (Synopsys)
Kommerzielles Tool zur dreidimensionalen FEM-Simulation mikroelektronischer Bauelemente. Es erlaubt die Simulation des Herstellungsverfahrens (Prozess-Simulation) und des elektrischen Verhaltens (Device-Simulation). Das Tool liefert häufig die Grundlage zur Interpretation physikalischer Effekte im Bauelement. In den Lehrveranstaltungen „Nanoelektronik“ (ELI-Bachelorstudiengang) und „Bauelementsimulation“ (EIT-Masterstudiengang) erhalten Studierende einen Einblick in die Verwendung der Software.

Cadence Design Framework
Kommerzielles Tool zum Design und zur Simulation komplexer integrierter Schaltkreise. Über die Verilog-A-Schnittstelle lassen sich die in der AG entwickelten Kompaktmodelle einbinden.

IC-CAP (Keysight)
Kommerzielles Tool zur Extraktion von Modellparametern aus Messungen oder Simulationen. Hiermit können Verilog-A-Kompaktmodelle an Messdaten von Kooperationspartnern oder FEM-Simulationen angepasst werden.

Waferprober Cascade RF-1 mit Parameter-Analyzer Keysight B1500
Messplatz (DC und AC) zur Spitzenkontaktierung von Substraten unter dem Mikroskop (bis 6 Zoll). Damit ist die Charakterisierung einzelner integrierter Bauelemente, ohne ihre Kontaktierung in einem Gehäuse, möglich.

High-Performance-Linux-Cluster
Die dreidimensionale Simulation des elektrischen Verhaltens einzelner Bauelemente dauert häufig Stunden oder sogar mehrere Tage. Hierzu steht ein Rechencluster mit insgesamt 44 Cores zur Verfügung.

DIMATIX Material Printer DMP-2831
Drucker zur Herstellung von organischen Transistoren

Access to Mentor Graphics Design Framework, Matlab, LabView
Software für mathematische Berechnungen und Unersuchung von mathemathischen/physikalischen Ergebnissen

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