Ausstattung

• Waferprober (Cascade RF-1, 6 Zoll, mit Video-Capture)
• High-Performance Linux-Cluster (7 Knoten, je 2 Dual-Core Opteron CPUs, 8GB RAM)
• TCAD-Sentaurus-Framework (FEM-Software von Synopsys zur dreidimensionalen Prozess- und Device-Simulation)
• Material-Printer (Dimatix DMP-2831, Drucken funktionaler Tinten bis ca. 30 µm Auflösung)
• Spin Coater
• AFM Agilent (Raster-Kraft-Mikroskop)
• Messstand zur Messung der lokalen optoelektronischen Empfindlichkeit (Lock-In, Mikroskop, Stelltisch) ca. 1 µm lokale Auflösung, Messung bis 20 MHz U-Kugeln
• Ausstattung Optikdesign
• GTEM-Zelle, 30 kV ESD-Tester