labor-mikrotechnik

 

Themen und Schwerpunkte

  • Vermessung von Mikrostrukturen
  • Montage von Mikrosystemen
  • Versuche zu mikrotechnischen Herstellungsverfahren

Dienstleistungen

  • Durchführung von Industrieprojekten
  • Wissenschaftliche Beratung der Industrie
  • Durchführung von Bachelor- und Masterthesen
  • Vorführungen für Besucher

Ausstattung

  • Mechanischer und optischer Messplatz
  • Lasermikrostrukturierungsanlage
  • Laservibrometer
  • Mikroskop
  • Spektrumanalysator
  • Funktionsgenerator
  • PC-Messkarten
  • Stereomikroskop
  • x-y-Verschiebetisch
  • CCD-Kamera
  • Oszilloskope
  • Simulationssoftware, PCs

Laborleiter: Prof. Dr. Hoßfeld
Mitarbeiter: